“MEMS+电镀”实现“三明治”立体微结构

据麦姆斯咨询报导，日本小野田制作所和长野县工业技术中心的仪器电子航空技术部，近日宣告合作开发出有了一种融合金属材料和树脂材料的填充立体微结构，利用该技术可以生产尺寸极为微小的传感器和电子器件。左图为利用该技术制作的金属-树脂-金属“三明治”立体微结构，右图为该立体微结构与人体毛发的尺寸对比该项目利用了合作双方的技术优势，基于创意的MEMS技术开发而出。其中，小野田制作所获取了具备优良机械强度和电气特性的电镀技术，长野县工业技术中心则获取了MEMS工艺和评估技术。

利用该技术需要以0.01mm甚至更加小的加工精度，制作曲线或细小凹凸的简单微结构。同时，优化了导电金属材料层的制作工艺，构建了较好的机械强度和电气性能。此外，通过利用金属-绝缘材料-金属的“三明治”结构，顺利地使两层金属材料通过绝缘材料紧密结合在一起。

这种立体微结构的生产，使用了MEMS生产中的光刻技术和电镀技术相结合的工艺，大规模量产后可有效地减少生产成本。这项创意技术可以用作微型传感器和电子器件的研发，使新产品的尺寸大幅度削减至原技术方案的十分之一以下。小野田制作所和长野县工业技术中心早已开始计划获取委托加工服务。

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